•  真空环境：真空探针台能够在低真空或高真空环境中进行测试、避免了空气对实验结果的影响、提高了测试的准确性和可靠性

•  温控系统：配备有先进的温控系统、能够实现对样品的精确控温，满足各种温度条件下的测试需求。例如、真空超高温1000度探针台可以在高达1000度的高温环境下稳定工作，适用于材料表面的物理和化学性质研究

•  外部可移动探针臂：采用外部可移动探针臂设计，能够实现对样品表面任意位置的精准点针，方便科研工作者进行局部或整体电学性能的测试

•  集成显微镜和光谱系统：可以集成显微镜、光谱系统等先进表征手段、对薄膜材料的微观结构和化学成分进行实时观察和分析、提供全面的材

•  高精度和可重复使用：采用高精度的金属针头、测试结果非常稳定可靠、适用于多次重复测试

•  应用广泛：适用于半导体、微电子、材料科学等领域，特别是在薄膜材料的电学性能测试中表现出色

◆  样品台：镀金样品台(三同轴、同轴、接地)

◆  样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

◆  显微镜：最小分辨率2微米/4微米

◆  探针臂：最多可安装6个探针臂

◆  位移台行程：X方向行程：50mm,移动分辨率3Hm;Y、Z方向行程：25mm,移动分辨率5Hm

◆  探针配置：DC探针、射频探针、光纤探针可选

◆  真空系统：机械泵或分子泵

◆  真空度：5×10-3Pa(室温)

◆  温度范围：室温-200℃  室温-600℃可选

◆  温控精度：±0.5℃

◆  减震桌：固有频率：1.2-2Hz,隔振方式：双腔室空气弹簧，隔振来源：阻尼孔水平维持方式，高精度阀门自动维持水平

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